一、英國Quorum公司介紹

Quorum Technologies制造優秀的科學儀器，用于電子顯微鏡（EM）樣品制備。嚴格的EM樣品制備是為客戶提供清晰圖像進行分析的方法。Quorum Technologies 提供全系列高質量儀器在冷凍 SEM、濺射鍍膜機、臨界點干燥儀和輝光放電等樣品制備技術。

Quorum Technologies成立于2001年，但其產品品牌的歷史可以追溯到更遠的地方。最初的 Polaron Ltd 公司處于電子顯微鏡 （EM） 樣品制備，推出了掃描電子顯微鏡 （SEM） 濺射鍍膜，并在 1970 年代初推出了第一臺 SEM 臨界點干燥機。 如今，Quorum Technologies 延續了這一優良傳統，仍然是電子顯微鏡濺射鍍膜、臨界點干燥儀和冷凍 SEM 等樣品制備技術。

二、Quorum主要產品

1、 冷凍電鏡樣品制備系統（Cryo-SEM 樣品制備）

PP3010冷凍電鏡（Cryo-SEM）樣品制備系統是冷凍掃描電鏡技術，將高質量的結果與優秀的易用性相結合。PP3010 是一款高度自動化、柱式、氣冷式冷凍 電鏡樣品制備和冷凍轉移系統，適用于大多數品牌和型號的 W-SEM、FE-SEM 和FIB/SEM。

冷凍電鏡 和 FIB/SEM 的冷凍樣品制備技術對于觀察生物樣品、液體濕樣品或光束敏感樣本至關重要。使用冷凍電子顯微鏡消不需要采用化學法固定和臨界點干等燥傳統樣品制備方法，能夠觀察天然水合狀態的樣本。

Quorum還提供PP3005 SEMCool和PP3006 CoolLok - 用于低溫應用的部分低溫樣品制備系統，在這些應用中不需要PP3010的全套樣品處理能力。

1-1. PP3010—冷凍電鏡（Cryo-SEM）和束掃描電子顯微鏡FIB-SEM的樣品制備系統

PP3010 是一款高度自動化、易于使用、柱式氣體冷凍制備系統，適用于大多數品牌和型號的 SEM、FE-SEM 和FIB/SEM。。

PP3010具有快速冷凍、樣品處理和轉移所需的全部設施。低溫樣品制備室是采用渦輪分子泵，包含用于冷壓裂、可控的自動升華和濺射鍍膜的工具。樣品處理后，將樣品從冷凍制備室轉移到高度穩定的SEM冷臺上進行觀察。用于冷凍制備室和 SEM 室中的冷阱確保整個樣品制備過程無霜。

PP3010冷凍電鏡樣品制備系統的主要特點

w  SEM, FE-SEM and FIB/SEMs的高分辨率性能

w  氣體冷卻，包括冷凍制備室 - SEM 上無沸氮

w  高效冷卻（min -190oC）

w  一次填充 LN24 的運行時間24小時以- 允許無人值守的夜間運行（在典型工作溫度下）

w  大驅動的觸摸屏界面

w  自動升華、涂覆和系統啟動

w  優秀的標本可視性

w  兼容高達 5kV 的 SEM 光束減速/級偏置模式

w  柱外冷卻和泵送系統 – SEM 上的最小質量

w  屏幕數據記錄和診斷

w  低溫傳輸裝置的抽水儲存

w  Prepdek 工作站 – 獨立的工作區，無需額外的工作臺空間

w  冷凍工作流程選項

1-2. PP3006 coollock用于SEM 和FIB/SEM 的冷凍轉移系統

PP3006 CoolLok 可對 SEM、FIB/SEM、光束線或其他真空系統的試樣進行快速轉移和低溫溫度觀察。應用包括光束敏感試樣的熱保護和塑料、聚合物低介電介質和軟硬混合物等材料的低溫觀察。該系統還可用于從手套箱中輸送環境溫度試樣的惰性氣體。

1-3  PP3005 SEMCool用于 SEM and FIB/SEM的非氣閘冷卻系統

SEMCool基于PP3006 CoolLok，但沒有PP3004 QuickLok組件。它專為不需要將樣品氣閘交換到顯微鏡中的低溫應用而設計。PP3005 僅推薦用于預計不頻繁更換試樣的應用。為了獲得更大的試樣通量，將氣閘插入SEM 或 FIB/SEM 是必不可少的

1-4 Coolstage – Peltier冷卻的SEM 工作臺

冷卻臺是帕爾貼驅動的冷卻臺，用于掃描電子顯微鏡 （SEM）、低真空 （LV） 或變壓 （VP） 應用。有三種型號可供選擇，以滿足不同的用戶要求。

2. 濺射鍍膜機和 SEM/TEM 碳鍍膜機

2-1miniQS -入門級用于鍍膜/涂布機

MiniQS非常適合預算不高的用戶，他也需要在易于使用的儀器中獲得可重復的結果。MiniQS使用磁控濺射頭，帶有易于更換的圓盤靶

2-2 Q plus 系列-全系列濺射鍍膜機-用于電子顯微鏡和薄膜

Q Plus系列是Quorum的濺射和碳鍍膜機系列的新版本。越來越多地用于高分辨率顯微鏡，其中超細涂層是必須的。

濺射鍍膜是在掃描電子顯微鏡（SEM）觀察之前制備非導電或導電性差的試樣的標準方法。Quorum提供低成本的旋轉泵送濺射鍍膜機，用于沉積非氧化性金屬（如金（Au）和鉑（Pt））和渦輪分子泵送鍍膜機，適用于氧化性和非氧化性金屬，如鉻（Cr）。

為了提供改進的超細涂層，Quorum推出了新的Q150V Plus，它提供1 x 10-6 mbar的極限真空，以獲得效果。

大型腔室濺射鍍膜機可用于直徑達 200 mm 的試樣。大多數Quorum 涂布機也可以使用易于更換的碳棒和碳纖維插件進行碳蒸發配置。

型號有Q 150R Plus, Q 150T Plus, Q 150V Plus, Q300T Plus, Q 300 TD Plus。

Q150V Plus 適用于高真空應用。這款新產品為用戶提供了為超高分辨率應用（高于x 200k放大倍率）生產更細晶粒尺寸和更薄涂層的能力。

Q150T Plus 鍍膜機適用于 SEM、TEM 和許多薄膜應用。它有三種形式：作為濺射鍍膜機、碳鍍膜機或在一個緊湊的系統中同時濺射和碳蒸發。

Q150R Plus 鍍膜機適用于使用非氧化金屬的 W-SEM 濺射應用以及用于 EDS 和 WDS 的碳涂層 SEM 試樣。對于較大的試樣，Q300T T Plus（渦輪分子泵送）型號允許涂覆max 8“/200 mm 的單個大直徑試樣（例如晶圓），或多個直徑相似的較小試樣。兩者都具有三重濺射頭，以確保均勻的鍍膜沉積。對于薄膜應用，Q300T D Plus 雙目標順序濺射鍍膜機允許連續濺射金屬層，而無需打破真空。

Q150 GB 是 Q150T ES 涂布機的模塊化版本，設計用于集成到手套箱中。

SC7620是該系列的完善，這是一款緊湊的入門級SEM濺射鍍膜機，可與可選的碳纖維蒸發附件一起使用。

3. GloQube? Plus-用于透射電鏡和表面改性的輝光放電系統

GloQube? Plus是一種經濟高效，緊湊且易于使用的輝光放電系統，旨在滿足TEM實驗室的需求。GloQube? Plus的主要應用是修改TEM網格的表面，以滿足成像各種大分子的要求。兩個腔室集成在一個系統中，使用戶能夠靈活地選擇他們想要使用的樣品制備技術：空氣中或化學蒸氣中的輝光放電，無需停機清潔或樣品污染和損失的風險。

化學蒸氣輝光放電不僅有助于將分子保留在TEM網格上，而且還允許用戶控制方向和構象。通過自動蒸汽控制，該系統可確保等離子體中化學蒸汽的準確濃度，從而產生可靠且可重復的結果。兩個腔室設計成一個易于使用的包裝，為工作流程空間提供了更小的占地面積，并且腔室之間沒有交叉污染。

MiniQ GD 是2023年推出的易于使用的輝光放電系統，用于TEM 網格的表面修飾。

4. 臨界點干燥儀

Quorum制造了一系列臨界點干燥儀，以滿足電子顯微鏡（EM）和其他應用的需求。臨界點干燥是在掃描電子顯微鏡（SEM）檢查之前對生物組織進行脫水的既定方法。

臨界點干燥儀的型號：E3100 ， K850， K850WM 臨界點干燥儀

廣受歡迎的 K850 集多功能性和易操作性于一身。內置熱電加熱和絕熱冷卻可實現精確的溫度控制。垂直壓力室（直徑 32 mm x 高 47 mm）具有側面觀察口，可在加工過程中清晰地看到液體彎月面。磁力攪拌器可確保工藝流體的最佳混合和交換。

E3100 大型臨界點干燥機，E 3100 具有水平安裝的壓力室，內徑為 63.5 mm x 長度為 82 mm。腔室有一個用于溫度控制的外部水套，并通過可拆卸的后門引入試樣。前腔裝有直徑為 25 mm 的大窗口，可以清楚地看到液位。

K850WM 是緊湊的臺式儀器，設計用于對完整的 6“/150 mm 晶圓進行臨界干燥。方便的晶圓支架可實現快速轉移，并確保不會發生預干燥

E4800 循環加熱器/冷卻器用于各種開環和閉環溫度控制應用。E4860 是 E3100 和K850MW 臨界點干燥機的選件。對于僅需要加熱的應用，建議使用 E3500 熱循環器。

Qdru 是quorum 在2023年推出的新的自動化臨界點干燥儀

5. 耗材，靶材，載物臺等附件

Quorum提供了一系列消耗品和備件。

濺射靶材：Quorum為我們當前的Q系列（S和ES版本）和SC7620濺射鍍膜機以及以前使用Emscope，Emitech，Polaron，Bio-Rad，Fisons Instruments和Thermo VG品牌制造的型號提供金屬濺射靶材。包括E7400-314A Target

Gold 0.2 mm, E7400-31C TargetPlatinum 0.2 mm, E7400-314IR TargetIridium 0.3 mm, SC500-314A TargetGold 60 mm x 0.1 mm thick, SC500-314E TargetSilver 60 mm x 0.1 mm thick, SC502-314A TargetGold 57 mm x 0.1 mm, 更多濺射靶點請咨詢。

碳耗材：碳棒和碳纖維供應品有多種尺寸和純度可供選擇，通常用于將碳蒸發到樣品上，用于 X 射線微量分析或透射電子顯微鏡 （TEM）分析。

三、Quorum 產品客戶

Quorum 客戶包括顯微鏡制造商，大學研究所及公司等，其中顯微鏡制造商包括zeiss, thermo fisher, Hitachi, Tescan等。